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MEMC2300系列质量流量控制器(MFC)用于精确测量和控制气体介质的流量。

MEMC2300系列MFC流量测量的基本原理是热扩散原理。理论上，介质压力和温度的变化不影响流量测量的精度，有利于提高测量的精度和可靠性。

MEMC2300系列MFC集成了微机电系统(MEMS)、数字信号处理、高级控制和数字仿真技术。MEMC2300系列MFC采用美国半导体公司的流量传感元件和Kofloc比例阀元件。产品生产和检验的全过程严格实行质量控制，确保产品的准确性和长期可靠性。

应用:
光伏材料工艺设备、半导体工艺设备、锂电池材料工艺设备、医疗制药气体设备、实验室微反应装置、气体混合系统、气相色谱仪、光纤工艺设备。

技术参数:
压力:< 1.6MPa
流量:2mL/min ~ 2000L/min
温度:-20 ~ 60℃
量程比:1:50
响应时间:< 50ms
精度等级:±1.5% F.S.
重复性:< 0.25% F.S.
灵敏度:< 0.1% F.S.
通讯方式:RS485 / 4~20mA
功耗:<2.4W (MEMC2303/2306)
< 24 w (MEMC2310/2315)