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MEMS0600A系列质量流量计
MEMS0600A系列流量计(MFM)专为实时测量和输出流量和其他流体相关信息而设计。MFM具有本地显示，以及4-20mA的模拟输出和Modbus RTU RS485的数字输出。本地显示器显示气体流速和累积流量，气体压力(可选)和气体温度。这些信息可以通过模拟(仅流量)和数字通信传输到控制系统

应用:
可再生能源行业: 光伏材料加工设备、锂材料加工设备、氢燃料电池检测设备等。
半导体行业: 半导体集成电路工艺设备、光纤加工设备，包括扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子体蚀刻、溅射、离子注入、真空镀膜、光纤熔融等生产工艺设备。
医药工业:微反应器、气体混合系统等。
天然气流量测量

技术参数:
压力: < 1.6MPa
流量: 2mL/min ~ 2000L/min
温度: -45 ~ 85℃
量程比: 1:100
响应时间: < 20ms
精度等级: ±1.5% F.S.
重复性: < 0.25% F.S.
灵敏度: < 0.1% F.S.
压损: <3kPa(满量程)
通讯方式: RS485 / 4~20mA